インプラント関連ニュース｜2008年06月09日18時46分

インプラントに関する2008年06月09日18時46分のニュースページです。

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Novellus、性能重視とスループット重視の最新型アッシング装置2機種を発表
SemiconductorInternational Japan -1hourago
バルクストリップと高ドーズ・インプラント・ストリップに対応。ウェーハの昇温を速めてアッシング速度を高めた結果、スループットはバルクストリップで1時間あたりウェーハ400枚以上、インプラント・ストリップで1時間あたりウェーハ300枚以上を達成した。
(2008年06月09日18時46分のニュース)

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